Vòng đệm O-ring bằng perfluoroelastomer dùng trong chất bán dẫn

Vòng đệm KALREZ® dùng trong ứng dụng bán dẫn được làm từ chất đàn hồi perfluoro (FFKM) cao cấp, duy trì hiệu suất ngay cả trong môi trường khắc nghiệt như sản xuất bán dẫn, và được sử dụng làm vật liệu làm kín. Vòng đệm chịu plasma, không chứa chất độn, tạo ra rất ít hạt và thể hiện khả năng chống chịu tuyệt vời trong các quy trình plasma. Vòng đệm chịu hóa chất có thể chịu được hầu hết các hóa chất, bao gồm axit mạnh, kiềm mạnh và dung môi, và vòng đệm chịu nhiệt độ cao mang lại hiệu suất làm kín vượt trội trong các quy trình nhiệt độ cao. Điều này giúp giảm tần suất bảo trì thiết bị và góp phần đáng kể vào việc cải thiện năng suất và độ sạch.

Ví dụ về cách sử dụng

• Thiết bị sản xuất chất bán dẫn, van cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn, robot cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn, phần dưới của buồng chân không cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn, nhà máy sản xuất chất bán dẫn, đường ống hút, đường ống xả.